概括
H/2H系列滑阀真空泵是排除一般性气体和含有少量可凝气体(使用气镇装置)的真空获得设备之一。当抽除含氧量过高、有爆炸性气体、对黑色金属有腐蚀性的、对泵油起化学反应的气体时应增加附加装置才能保证正常使用。
本系列滑阀真空泵采用了多项先进技术,对滑阀杆离心惯性力进行了动平衡设计,在国内首次实现大泵双缸结构(2H系列),在气路设计等方面进行了改革,本泵具有体积小、真空度高、振动噪声小、运转平稳、功耗小等突出优点。
本系列泵可单独使用,也可作为其他真空泵的前级泵。适用于真空镀膜设备、宇航模拟设备、单晶炉,多晶炉设备、真空干燥、真空浸渍、真空冶炼等场合。
型号/性能/参数(Type-Performance-parameter)
型号 |
极限压力(Pa) |
抽气速率(L/S) |
进气口径 |
排气口径 |
配用功率 |
冷却水耗量(L/h) |
2H-30 |
6×10-2 |
30 |
63 |
50 |
4 |
250 |
2H-70 |
6×10-2 |
70 |
80 |
63 |
7.5 |
350 |
2H-150 |
6×10-2 |
150 |
100 |
80 |
15 |
500 |
HL-150 |
0.8 |
150 |
100 |
80 |
11 |
700 |
H-150 |
0.8 |
150 |
100 |
80 |
15 |
700 |
H-300 |
0.8 |
300 |
200 |
100 |
30 |
1000 |
特性曲线 Characteristic curve